纳米引晶法选择性生长金刚石薄膜

• 作者: 刘洪武 文超 李迅 王成新 王文魁 邹广田 韩永昊 高春晓
• 来源期刊: 原子与分子物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米引晶 金刚石薄膜 选择性生长
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 会议论文
• 页码范围: 548-552
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-0364.2000.03.032

摘要

通过传统的光刻工艺和纳米引晶技术,在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案,并利用该图案与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异,实现金刚石薄膜的高选择比生长.该方法具有工艺简单、沉积效率高、选择比高、对底无任何损伤等优点.同时,这种方法很容易在不同衬底上实现金刚石薄膜的大面积选择性生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邹广田	吉林大学超硬材料国家重点实验室	71	390	9.0	16.0
2	王文魁	中国科学院物理研究所	23	130	6.0	10.0
3	高春晓	吉林大学超硬材料国家重点实验室	23	25	4.0	4.0
4	王成新	吉林大学超硬材料国家重点实验室	6	9	2.0	3.0
5	刘洪武	吉林大学超硬材料国家重点实验室	5	5	1.0	2.0
6	李迅	吉林大学超硬材料国家重点实验室	8	25	4.0	5.0
10	韩永昊	吉林大学超硬材料国家重点实验室	7	9	2.0	2.0