火焰法合成金刚石薄膜的研究

• 作者: 刘建华 陈赛军
• 来源期刊: 武汉化工学院学报
• 学科: 地球科学
• 关键词: 火焰法 金刚石薄膜 基板 孪晶
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 9-11
• 页数: 3页
• 分类号: P578.1+6
• 字数: 1339字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2003.03.004

摘要

用火焰法在大气下合成了金刚石薄膜,探讨了基板表面性质及基板温度对金刚石晶体生长的影响,结果显示抛光表面及800℃合成金刚石薄膜较佳.