衬底温度对热丝法生长纳米金刚石膜的影响

• 作者: 易成 熊江 王传新 王子行 范咏志
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 纳米金刚行膜 热丝化学气相沉积 衬底温度
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 页码范围: 36-40
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2463字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2015.02.008

摘要

采用热丝化学气相沉积法在氩/丙酮/氢气体系中研究衬底温度对纳米金刚石膜生长的影响,使用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪对金刚石膜进行检测.结果表明衬底温度对金刚石膜的生长模式、形貌、粒径和生长速率有很大影响.在750℃衬底温度下生长模式为颗粒状生长模式,呈现纳米金刚石结构,生长速率达到8.45 μm/h;随着衬底温度的降低,金刚石晶粒粒度逐渐变大,由纳米金刚石向微米金刚石转变,生长模式变为柱状生长模式,生长速率逐渐降低;在600 ℃衬底温度下变为微米金刚石,生长速率下降到1.95μm/h.