在不同衬底上用纳米引晶法选择性生长金刚石薄膜

• 作者: 刘洪武 李迅 杨洁 王成新 石勇 韩永昊 顾鼎熙
• 来源期刊: 吉林大学自然科学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米引晶 金刚石薄膜 选择性生长
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 页码范围: 61-64
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2823字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-5489.2000.03.012

摘要

采用光刻工艺和纳米引晶技术, 在抛光的单晶Si衬底上形成带有超细金刚石纳米粉的引晶图案, 并利用引晶处与抛光Si处金刚石成核密度的巨大差异, 在光滑的Si3N4和Mo衬底上实现金刚石薄膜的高选择性生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石勇		6	2	1.0	1.0
2	王成新	吉林大学超硬材料国家重点实验室	6	9	2.0	3.0
3	刘洪武	吉林大学超硬材料国家重点实验室	5	5	1.0	2.0
4	李迅	吉林大学超硬材料国家重点实验室	8	25	4.0	5.0
5	杨洁		6	6	2.0	2.0
6	韩永昊	吉林大学超硬材料国家重点实验室	7	9	2.0	2.0
7	顾鼎熙		2	1	1.0	1.0