原子氢在纳米金刚石薄膜生长中的作用

• 作者: 唐元洪 朱利兵 林良武
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 原子氢 纳米金刚石薄膜 衬底偏压 成核 生长
• 年，卷（期）: 2005,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1263-1269
• 页数: 7页
• 分类号: O484|TN304
• 字数: 7008字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2005.05.039

摘要

探索了原子氢在各类制备条件下对纳米金刚石薄膜生长所起的作用,指出贫氢环境并不是纳米金刚石薄膜制备的必备条件,原子氢与Ar在贫氢环境和富氢环境中的作用机理不尽相同.通过施加衬底偏压能促进氢离子的产生,氢离子刻蚀sp2碳的能力比刻蚀sp3碳能力强很多,同时能产生表面缺陷,因而富原子氢环境更有利于纳米金刚石薄膜成核与生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐元洪	湖南大学材料科学与工程学院	67	498	13.0	19.0
2	林良武	湖南大学材料科学与工程学院	17	61	4.0	6.0
3	朱利兵	湖南大学材料科学与工程学院	4	31	3.0	4.0