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摘要:
在HFCVD系统中施加栅极偏压和衬底偏压,采用双偏压成核和栅极偏压生长的方法成功制备了高质量的纳米金刚石薄膜.采用显微Raman高分辨率SEM和AFM等现代理化分析手段分析纳米金刚石膜的微结构,结果表明双偏压显著促进了金刚石的成核密度,平均晶粒尺寸在20 nm以内.试验观察和理论分析表明栅极偏压促进了热丝附近的等离子体浓度,提高了衬底附近的碳氢基团和氢原子浓度,提高了金刚石的成核密度、在保持晶粒的纳米尺寸的同时保持了较高的成膜质量和较低的生长缺陷.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 栅极偏压对纳米金刚石薄膜沉积过程的影响
来源期刊 南京航空航天大学学报(英文版) 学科 工学
关键词 纳米金刚石薄膜 热丝化学气相沉积法 衬底偏压 栅极偏压 成核
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 317-322
页数 6页 分类号 TG174.442
字数 917字 语种 英文
DOI 10.3969/j.issn.1005-1120.2007.04.009
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 卢文壮 南京航空航天大学机电学院 94 520 12.0 17.0
2 左敦稳 南京航空航天大学机电学院 510 3780 26.0 32.0
3 徐锋 南京航空航天大学机电学院 85 541 13.0 18.0
4 王珉 南京航空航天大学机电学院 205 2631 27.0 40.0
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研究主题发展历程
节点文献
纳米金刚石薄膜
热丝化学气相沉积法
衬底偏压
栅极偏压
成核
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
南京航空航天大学学报(英文版)
双月刊
1005-1120
32-1389/V
大16开
南京市御道街29号1016信箱
1982
eng
出版文献量(篇)
1548
总下载数(次)
1
总被引数(次)
4543
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
江苏省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Jiangsu Province
官方网址:http://www.jsnsf.gov.cn/News.aspx?a=37
项目类型:
学科类型:
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