卤素原子在化学气相淀积金刚石薄膜过程中的作用

• 作者: 万永中 刘志杰 张卫 王季陶
• 来源期刊: 高技术通讯
• 学科: 工学
• 关键词: 卤素 化学气相淀积 金刚石
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 所属期刊栏目: 研究通讯
• 页码范围: 43-46
• 分类号: TQ32
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-0470.1998.06.011

摘要

根据非平衡热力学耦合模型计算得到了碳氢氟和碳氢氯体系低压金刚石生长的非平衡定态相图,计算结果与大量实验事实符合良好,可以为实验研究提供理论指导.还详细讨论了卤素原子在金刚石薄膜淀积过程中的作用.