氢的强化刻蚀对金刚石薄膜品质的影响与sp2杂化碳原子的存在形态

• 作者: 姚宁 张兵临 杨仕娥 樊志勤 马丙现 鲁占灵
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石薄膜 拉曼光谱 强化刻蚀
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:结构、热学和力学性质
• 页码范围: 2287-2291
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2963字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2004.07.050

摘要

用化学气相沉积方法制备了金刚石薄膜.在制备过程中,通过间歇式关闭甲烷气体,强化了氢对sp2杂化碳原子的刻蚀.用拉曼光谱和金相显微镜对薄膜进行了分析表征.结果表明,氢对sp2杂化碳原子的强化刻蚀并未影响金刚石薄膜的品质和微观结构.这一结论说明,在金刚石薄膜中,sp2杂化碳原子主要存在于金刚石晶粒表面和晶界碳原子之间,而不是以石墨或无定形碳颗粒为主要存在方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚宁	郑州大学物理工程学院	122	692	12.0	18.0
2	张兵临	郑州大学物理工程学院	95	608	12.0	18.0
3	鲁占灵	郑州大学物理工程学院	25	166	8.0	11.0
4	杨仕娥	郑州大学物理工程学院	68	513	12.0	18.0
5	马丙现	郑州大学物理工程学院	19	120	6.0	10.0
6	樊志勤	郑州大学物理工程学院	1	14	1.0	1.0