光激励微硅梁谐振机理研究

• 作者: 顾利忠
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光激励 微硅梁 谐振器
• 年，卷（期）: 2000,（3）
• 所属期刊栏目: 激光物理与激光化学
• 页码范围: 253-256
• 页数: 4页
• 分类号: TN2
• 字数: 1501字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2000.03.015

摘要

用实验的方法研究了微硅梁在光激励下产生谐振的机理,解释了微硅梁在光激励下的谐振是由于光-热-机能量转化的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾利忠	清华大学自动化系	14	94	7.0	9.0