Y60A单晶炉的热场设计及测试

• 作者: 张冰毅 梁秀梅
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 热场 三温区 控温精度 炉温均匀度 晶体炉
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 论文研制报告
• 页码范围: 21-26
• 页数: 6页
• 分类号: TF806.9
• 字数: 3347字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2001.02.006

摘要

结合LBO、BBO等氧化物晶体生长的工艺条件,在一台包含三温区的晶体生长炉中进行热场控制的实验研究,实验结果表明该炉室恒温区内控温精度≤±0.2℃;炉温均匀度≤±1℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冰毅		9	36	3.0	5.0
2	梁秀梅		11	65	6.0	7.0