气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的光、电特性研究

• 作者: 吴洪才 曹猛 郑建邦
• 来源期刊: 光电子技术与信息
• 学科: 工学
• 关键词: 非线性光学材料 聚酰亚胺 气相沉积
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与元器件
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TB3
• 字数: 2835字
• 语种: 中文

摘要

以均苯四甲酸酐(PMDA)和二氨基二苯醚(ODA)为单体原料,研究了在2×10-5Torr真空度下,通过控制双源单体的加入摩尔计量、加热时间和其沉积速率,在玻璃衬底上合成了聚酰亚胺的预聚体聚酰胺酸,再经150～200℃真空加热亚胺化, 1小时后得到了成膜性良好的均匀聚酰亚胺薄膜.通过红外吸收、X射线衍射、扫描电镜等方法对样品的组织结构和特性进行了研究和探讨.结果表明,气相沉积法制备的聚酰亚胺薄膜具有良好的电学特性和热稳定性,不失为聚合物合成的可能途径之一.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴洪才	西安交通大学电信学院光电技术与太阳能研究所	86	779	15.0	23.0
2	曹猛	西安交通大学电信学院光电技术与太阳能研究所	25	109	6.0	9.0
3	郑建邦	西安交通大学电信学院光电技术与太阳能研究所	10	86	6.0	9.0