论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 工业技术期刊 \
- 无线电电子学与电信技术期刊 \
- 电子工业专用设备期刊 \
精密远紫外光刻中的对准优化
精密远紫外光刻中的对准优化
基本信息来源于合作网站，原文需代理用户跳转至来源网站获取
摘要：
推荐文章
软紫外光压印光刻的模具制造研究
光刻胶
母版材料
软模具
压印光刻对准中阻蚀胶层的设计及优化
压印光刻
对准
阻蚀胶
优化
压印光刻中高精度莫尔对准方法的研究
压印光刻
光栅
自动对准
驱动器
紫外光通信非线性光学晶体的研究
非线性光学晶体
紫外激光
频率变换
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
2001(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
主办单位：
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出版周期：
双月刊
ISSN：
1004-4507
CN：
62-1077/TN
开本：
大16开
出版地：
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
邮发代号：
创刊时间：
1971
语种：
chi
出版文献量（篇）
3731
总下载数（次）
31
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
一般工业技术
交通运输
军事科技
冶金工业
动力工程
化学工业
原子能技术
大学学报
建筑科学
无线电电子学与电信技术
机械与仪表工业
水利工程
环境科学与安全科学
电工技术
石油与天然气工业
矿业工程
自动化技术与计算机技术
航空航天
轻工业与手工业
金属学与金属工艺
电子工业专用设备2021
电子工业专用设备2020
电子工业专用设备2019
电子工业专用设备2018
电子工业专用设备2017
电子工业专用设备2016
电子工业专用设备2015
电子工业专用设备2014
电子工业专用设备2013
电子工业专用设备2012
电子工业专用设备2011
电子工业专用设备2010
电子工业专用设备2009
电子工业专用设备2008
电子工业专用设备2007
电子工业专用设备2006
电子工业专用设备2005
电子工业专用设备2004
电子工业专用设备2003
电子工业专用设备2002
电子工业专用设备2001
电子工业专用设备2000
