冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制

• 作者: 丁玉成 严乐 刘红忠 卢秉恒 李寒松
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压印光刻 精密定位工作台 柔性结构 精度
• 年，卷（期）: 2004,（1）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 75-78
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 3725字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2004.01.022

摘要

冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术.为了获得高分辨率压印图形,为压印光刻机设计了一个精密定位工作台.精密定位工作台是压印光刻机的关键部件,它既能够保证模板－抗蚀剂－硅片结构间的接触均匀一致,并实现模板与承片台间的三个运动自由度,即沿z轴的直线运动和绕x、y轴的旋转运动(α和β),又可以实现步进对准所需要的沿x、y轴的直线运动和绕z轴的旋转运动(θ).设计中采用了柔性机械结构,消除了使用铰链连接所引起的间隙与摩擦等问题.压印实验结果显示定位系统在200mm的行程中,精密定位工作台定位精度达到8nm以内.实现了压印光刻工艺在集成电路制造中的高精度定位要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	卢秉恒	西安交通大学先进制造技术研究所	387	5973	36.0	56.0
2	丁玉成	西安交通大学先进制造技术研究所	128	1941	23.0	39.0
3	李寒松	西安交通大学先进制造技术研究所	11	104	6.0	10.0
4	刘红忠	西安交通大学先进制造技术研究所	46	349	10.0	16.0
5	严乐	西安交通大学先进制造技术研究所	6	74	4.0	6.0