体硅MEMS 2D光开关研究

• 作者: 徐永青 梁春广
• 来源期刊: 光纤通信
• 学科: 工学
• 关键词: 微机械 体硅 光开关 MEMS 光通信
• 年，卷（期）: gtx_2001,（3）
• 页码范围: 24-26
• 页数: 3页
• 分类号: TN256

摘要

采用MEMS体硅工艺，研制了两种结构MEMS光开关。一种采用叉指电容水平驱动方式，另一各采用垂直结构驱动方式。第一种光开关具有单层硅结构。采用了正面释放刻蚀扩散工艺。此工艺简单，而且可同时在硅基上制作光纤自对准V形槽、驱动电极采用p^++/n结隔离，隔离电压350－450V，驱动电压小区15V，测得谐振频率＞1kHz，开关速度小于20ms。第二种光开关具有硅－玻璃的双层结构。采用了硅－玻璃键合工艺，利用湿法腐蚀（EPW）对晶向的选择性。制作垂直的光挡板微镜，驱动电压高于水平驱动方式，但具有较高开关速度。这两种光开关的开关寿命优于1×10^8，但损耗还较大有待降低。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁春广		12	96	4.0	9.0
2	徐永青		5	78	3.0	5.0