静电式MEMS光开关新器件设计开发流程

• 作者: 何维玮 卢桂章 王凯 赵新
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 开发流程 静电式光开关 优化设计 MEMS
• 年，卷（期）: 2005,（z1）
• 所属期刊栏目: 微纳系统设计理论与CAD技术
• 页码范围: 272-274
• 页数: 3页
• 分类号: TN402
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2005.z1.095

摘要

在研究MEMS集成系统设计经验的基础上,简要论述了设计流程在MEMS设计中的重要性,提出静电式光开关新器件的开发流程,并以悬臂梁式MEMS光开关为例,进行了理论分析、静电-结构耦合场分析、材料选择、结构参数优化和控制电路设计等方面的研究.所提出的设计开发流程也适用于静电驱动的其他器件的开发,如RF-MEMS器件.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王凯		41	272	9.0	16.0
2	卢桂章		86	1727	19.0	39.0
3	赵新		57	583	11.0	21.0
4	何维玮		2	15	1.0	2.0