MEMS静电执行光开关的设计与实验

• 作者: 王科平 秦明 葛峻
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 光开关 静电执行 自对准
• 年，卷（期）: 2003,（3）
• 页码范围: 240-243,252
• 页数: 5页
• 分类号: TN36
• 字数: 1726字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2003.03.002

摘要

介绍了一种基于静电执行的自对准型垂直镜面微机械光开关,该光开关由垂直反射镜面、悬臂梁、光纤定位槽等组成.微反射镜和V型光纤定位槽的自对准由同一块掩膜板实现.微反射镜和V字型光纤槽通过对(100)单晶硅的各向异性腐蚀实现.论文给出光开关的结构设计,并实验验证了上述自对准光开关的加工工艺.