一种力平衡式隧道加速度传感器的特性研究

• 作者: 张旭
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 微硅隧道加速度计力平衡式
• 年，卷（期）: 2001,（4）
• 页码范围: 295-300
• 页数: 6页
• 分类号: TN409|TN42
• 字数: 2552字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2001.04.006

摘要

本文主要阐述了闭环微硅加速度计的工作原理和动态模型,并与开环系统相比较,其一些静态和动态特性得到改善,同时,另外一些变差特性可以通过电调节方式进行改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张旭	东南大学微电子中心	32	300	9.0	17.0