脉冲多弧离子镀制备类金刚石薄膜的力学特性

• 作者: 喻志农 孙鉴 沈思宽
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲多弧离子镀 类金刚石薄膜 薄膜性能
• 年，卷（期）: 2001,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺.设备.材料
• 页码范围: 100-101,105
• 页数: 3页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 2223字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2001.01.043

摘要

利用脉冲多弧离子镀技术在硅基底上沉积类金刚石薄膜。分析了类金刚石薄膜的硬度和工艺参数的关系，讨论了薄膜的耐磨性和化学稳定性。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙鉴	西安交通大学电子物理与器件研究所	39	135	6.0	9.0
2	沈思宽	西安交通大学电子物理与器件研究所	27	127	7.0	9.0
3	喻志农	西安交通大学电子物理与器件研究所	7	29	3.0	5.0