TiNi/Si复合膜微驱动器原理及结构参数优化

• 作者: 徐东 王莉 程秀兰 蔡炳初 陈鉴
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微驱动器 形状记忆效应 TiNi 有限元分析 微泵 双金属效应
• 年，卷（期）: 2001,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械及工艺研究
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: TP271+@4
• 字数: 3037字
• 语种: 中文

摘要

应用有限元方法对TiNi/Si复合膜微驱动器的结构设计进行了分析.因TiNi和Si之间的热膨胀系数差别很大,溅射在Si(100)衬底上的TiNi膜,当从晶化的高温降下来时会积聚很大的热应力.这种微驱动器,就是利用了TiNi的形状记忆效应而引起的这些应力的释放与恢复从而引起复合膜的振动.图形化TiNi薄膜制成加热电阻条作为自加热电阻,可降低功耗、提高响应速度、简化结构.但作为驱动单元的一部分,其图形化的结构参数对复合膜的挠度有很大的影响.通过结构参数优化,可使复合膜的中心挠度值达到最大,从而提高驱动器的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	程秀兰	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	48	205	5.0	12.0
2	王莉	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	85	773	14.0	24.0
3	徐东	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	23	187	6.0	13.0
4	蔡炳初	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	49	769	15.0	26.0
5	陈鉴	上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心	2	3	1.0	1.0