电子束在VO2薄膜中引起的价态、相结构和光学性能的改变

• 作者: 何捷 卢勇 卢铁城 林理彬 甘荣兵
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: VO2薄膜 变价 相结构 相变性能 电子辐照
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 高功率激光与光学
• 页码范围: 706-710
• 页数: 5页
• 分类号: TQ135.1|O483|O484.5
• 字数: 3150字
• 语种: 中文

摘要

利用能量为1.7MeV,注量分别为1.25×1013/cm2,1.25×1014/cm2,1.25×1015/cm2的电子束辐照VO2薄膜,采用XPs,XRD等测试手段对电子辐照前后的样品进行分析,并研究了电子辐照对样品相变过程中光透射特性的影响.结果表明电子辐照引起VO 2薄膜中V离子出现价态变化现象,并使薄膜的X射线衍射峰发生变化.电子辐照在样品中产生的这些变化显著改变了VO2薄膜的热致相变光学特性.