128×128凹型GaAs微透镜阵列器件的制作研究

• 作者: 何苗 易新建 程志军 程祖海 陈四海
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs 凹微透镜阵列 氩离子束刻蚀
• 年，卷（期）: 2001,（6）
• 所属期刊栏目: 实验技术与元件
• 页码范围: 530-532
• 页数: 3页
• 分类号: TN215
• 字数: 1421字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2001.06.014

摘要

提出了一种制作128×128球冠型GaAs凹折射微透镜阵列新的方法&&曲率倒易法.扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹球冠面阵列,表面探针测试结果显示阵列表面光滑、单元重复性好,其凹深为1.268 μm,焦距为-352.04 μm.