软X射线多层膜反射镜界面粗糙度的一种估算方法

• 作者: 宋利民 胡家升
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 多层镜 界面粗糙度 反射率
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 光学薄膜
• 页码范围: 236-238
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 2178字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0258-7025.2002.03.012

摘要

介绍了描述单个非理想粗糙界面散射的D. G. Stearns法,它适用于软X射线短波段区域.将这种方法应用到多层膜结构,并采用它的数学模型来描述软X射线短波段区域(1～10 nm)多层膜界面粗糙度.在此理论下,对波长为4.77 nm的Co/C多层膜反射镜界面粗糙度进行了分析,估算出该多层镜界面间均方根粗糙度为0.7 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡家升	大连理工大学电子与信息工程学院	65	797	16.0	24.0
2	宋利民	大连理工大学电子与信息工程学院	3	13	2.0	3.0