硅谐振微传感器中微现象测量技术

• 作者: 兰巍 周浩敏 胡芳 邢维巍
• 来源期刊: 强度与环境
• 学科: 工学
• 关键词: 信息处理 微现象测量 谐振微传感器
• 年，卷（期）: 2002,（1）
• 所属期刊栏目: 测试技术和设备
• 页码范围: 59-64
• 页数: 6页
• 分类号: TP212|TP216
• 字数: 3020字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3919.2002.01.009

摘要

主要论述硅谐振微传感器中微现象测量.讨论了微现象测量中有关的技术:激励功率控制,超声频谐振频率的测量,频率特性的测定,品质因数的确定,克服电热效应的不良影响,同频干扰的抑制等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邢维巍	北京航空航天大学自动化学院	48	176	7.0	11.0
2	周浩敏	北京航空航天大学自动化学院	28	97	5.0	8.0
3	兰巍	北京航空航天大学自动化学院	4	24	3.0	4.0
4	胡芳	北京航空航天大学自动化学院	2	10	2.0	2.0