微型机电系统的建模与仿真研究

• 作者: 梁迎春 程凯 霍德鸿
• 来源期刊: 机械设计
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机电系统(MEMS) 建模 仿真
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 设计领域综述
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TH702
• 字数: 4827字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2354.2002.10.001

摘要

概述了开展微型机电系统 (MEMS)建模与仿真研究的意义和必要性.提出了MEMS建模与仿真技术的特点:(1)多物理场耦合;(2)材料特性的变化;(3)依赖快速有效的算法;(4)原子尺度仿真.分别从器件级仿真、过程仿真和系统级仿真三个层次说明了MEMS仿真的方法.最后结合MEMS建模与仿真技术的发展现状,指出了该领域今后的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁迎春	哈尔滨工业大学精密工程研究所	145	2341	26.0	39.0
2	程凯	哈尔滨工业大学精密工程研究所	66	1058	19.0	30.0
3	霍德鸿	哈尔滨工业大学精密工程研究所	7	160	6.0	7.0