一种改进的CVD金刚石膜生长过程原子尺度三维仿真方法

• 作者: 刘国权 张禹 秦湘阁
• 来源期刊: 中国体视学与图像分析
• 学科: 工学
• 关键词: CVD金刚石膜 原子尺度仿真 KMC方法 三维仿真
• 年，卷（期）: 2002,（4）
• 所属期刊栏目: 论著
• 页码范围: 207-211
• 页数: 5页
• 分类号: TG115.21(TP391.9)
• 字数: 3137字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-1482.2002.04.004

摘要

蒙特卡洛动力学(Kinetic Monte Carlo-KMC)仿真方法通过结合金刚石膜生长表面的原子结构和形貌特性,以及对CVD金刚石膜生长过程在原子尺度上的三维表征,可以形象描述CVD金刚石薄膜原子尺度生长过程.本文在介绍KMC方法的同时,分析了所存在问题,并对原有KMC方法加以改进,使之更准确地反映CVD金刚石薄膜原子尺度的生长规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘国权		192	1645	20.0	30.0
2	秦湘阁		11	120	6.0	10.0
3	张禹		9	58	5.0	7.0