气体原子对多层膜X射线反射特性的影响

• 作者: 冯仕猛 窦晓鸣 范正修 赵海鹰 邵建达
• 来源期刊: 中国科学A辑
• 学科: 物理学
• 关键词: 气体原子 多层膜 反射率
• 年，卷（期）: 2002,（10）
• 所属期刊栏目: 物理学
• 页码范围: 865-869
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2426字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-9232.2002.10.001

摘要

多层膜中气体原子能够增加入射 X射线散射, 减低多层膜衍射反射率. 当薄膜有气体原子存在时, 通常用平均散射因子代替本体材料散射因子计算薄膜的光学常数. 这样的处理方法是非常简单的, 鉴于此, 提出了一新方法研究气体原子对薄膜X射线反射特性的影响. 理论分析表明: 气体原子对薄膜反射特性的影响与掠入射角度、波长有关. 波长越短和掠入射角度越大, 气体原子的影响就越大, 反之就越小. 实验结果证明理论分析是正确的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0
3	窦晓鸣	上海交通大学物理系	26	352	10.0	18.0
4	冯仕猛	上海交通大学物理系	39	143	7.0	9.0
5	赵海鹰	上海交通大学物理系	16	185	6.0	13.0