热激励硅谐振式微结构压力传感器若干关键参数设计

• 作者: 樊尚春
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 热激励 谐振式传感器 压力传感器 硅微结构 参数设计
• 年，卷（期）: 2002,（z1）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 351-356
• 页数: 6页
• 分类号: TP2
• 字数: 4005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2002.z1.073

摘要

针对一种以方形硅膜片为一次敏感元件、硅梁为二次谐振敏感元件的热激励硅微结构压力传感器的实际结构,分析了其工作机理和产生热特性的机制.给出了考虑热特性情况时的传感器的被测压力与输出频率的特性方程;给出了传感器稳定可靠工作的条件;给出了梁谐振子的几何结构参数和激励、拾振电阻几何参数选择与位置设置的原则.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊尚春	北京航空航天大学自动化科学与电气工程学院测控技术与仪器系	161	841	15.0	21.0