甲醇在热阴极DC-PCVD方法制备金刚石膜过程中的作用

• 作者: 吕宪义 姜志刚 张露 曹培江 李俊杰 杨广亮 白亦真 金曾孙
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 热阴极DC-PCVD 甲醇 辉光放电 金刚石膜的生长特性
• 年，卷（期）: 2002,（9）
• 页码范围: 1648-1650
• 页数: 3页
• 分类号: O484.5
• 字数: 1174字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2002.09.003

摘要

采用热阴极DC-PCVD方法制备了金刚石膜, 研究了甲醇对放电状态和金刚石膜生长特性的影响. 结果表明, 通入适量的甲醇有利于稳定辉光放电状态, 保持阴极清洁, 提高膜的生长质量. 用扫描电镜和拉曼光谱等测试手段对金刚石膜的生长特性进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金曾孙	吉林大学超硬材料国家重点实验室	50	462	12.0	19.0
2	李俊杰	吉林大学超硬材料国家重点实验室	15	122	5.0	10.0
3	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
4	白亦真	吉林大学超硬材料国家重点实验室	6	78	4.0	6.0
5	杨广亮	吉林大学超硬材料国家重点实验室	6	17	3.0	4.0
6	曹培江	吉林大学超硬材料国家重点实验室	4	23	4.0	4.0
7	张露	吉林大学超硬材料国家重点实验室	4	6	2.0	2.0