温度对高甲烷含量下直流热阴极PCVD法制备纳米金刚石膜的影响

• 作者: 刘艳凤 姜宏伟 张军 昊春雷 王明磊 郑友进
• 来源期刊: 牡丹江师范学院学报：自然科学版
• 学科: 化学
• 关键词: 直流热阴极 PCVD 纳米金刚石膜
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: 物理学与化学
• 页码范围: 26-27
• 分类号: O621.3
• 字数: 1866字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-6180.2011.04.012

摘要

采用直流热阴极等离子体化学气相沉积（PCVD）技术,在CH4,H2流量分别为6sccm和200sccm,反应室气压为6×103 Pa时,通过改变基底温度,制备金刚石膜.采用拉曼光谱仪、扫描电镜和X射线衍射分析仪对样品进行表征.结果表明：利用直流热阴极PCVD方法,在较高的甲烷含量、较低的反应室气压及较低的基底温度下,可以制备出质量较好的纳米金刚石膜,随着基底温度的降低,晶粒尺寸减小,非金刚石相增多,膜的质量下降.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜宏伟	牡丹江师范学院黑龙江省新型炭基功能与超硬材料重点实验室	29	46	3.0	5.0
2	刘艳凤		17	40	4.0	5.0
3	郑友进	牡丹江师范学院黑龙江省新型炭基功能与超硬材料重点实验室	54	81	4.0	7.0
4	王明磊	牡丹江师范学院黑龙江省新型炭基功能与超硬材料重点实验室	17	31	3.0	4.0
5	张军	牡丹江师范学院黑龙江省新型炭基功能与超硬材料重点实验室	17	31	3.0	5.0
6	昊春雷	牡丹江师范学院黑龙江省新型炭基功能与超硬材料重点实验室	1	0	0.0	0.0