氮气对DC-PCVD法制备金刚石薄膜影响的研究

• 作者: 侯雪 姜志刚 封全娇 朱品文 胡双 郑艳彬
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 金刚石薄膜 氮气
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 页码范围: 15-19
• 分类号: TQ164
• 字数: 3264字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2011.05.004

摘要

采用直流热阴极等离子体化学气相沉积方法,用甲烷、氢气、氮气的混合气体在Mo基底上成功制备了金刚石薄膜.分别采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)对不同流量氮气氛下生长金刚石薄膜的形貌、取向、质量进行了表征.结果表明:适量氮气的加入,不仅可以促进金刚石薄膜的生长速率,还可以促进金刚石(100)晶面的显现；随着氮气含量的增加,金刚石晶粒也逐渐细化,并且薄膜中非金刚石成分增加,但金刚石表面变得光滑平整.本工作有助于金刚石膜涂层领域的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
2	朱品文	吉林大学超硬材料国家重点实验室	18	91	6.0	8.0
3	侯雪	吉林大学超硬材料国家重点实验室	5	35	3.0	5.0
4	郑艳彬	吉林大学超硬材料国家重点实验室	4	16	3.0	4.0
5	胡双	吉林大学超硬材料国家重点实验室	1	7	1.0	1.0
6	封全娇	吉林大学超硬材料国家重点实验室	1	7	1.0	1.0