离子注入机靶室尘埃污染与系统改造

• 作者: 陈毅功
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 尘埃 污染
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 所属期刊栏目: 新设备·新机构
• 页码范围: 103-105
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 字数: 2017字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2002.02.010

摘要

讨论了离子注入机尘埃污染的原因,给出了用冷凝泵系统取代扩散泵系统的改造实践,并提出了预防维修措施以全面减少尘埃污染.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈毅功		1	1	1.0	1.0