钻石取代硅用于芯片制造

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钻石取代硅用于芯片制造

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文献信息

篇名	钻石取代硅用于芯片制造
来源期刊	光学精密机械	学科	工学
关键词	钻石硅芯片制造
年，卷（期）	2002,（3）	所属期刊栏目
研究方向		页码范围	35-36
页数	2页	分类号	TN304
字数		语种
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