LIGA技术及其在微驱动器中的应用

• 作者: 张立彬 胥芳 陈刚
• 来源期刊: 机电一体化
• 学科: 工学
• 关键词: LIGA技术 掩模 复制 微驱动器
• 年，卷（期）: 2002,（3）
• 所属期刊栏目: 研究·开发·应用
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TG66
• 字数: 3405字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-080X.2002.03.008

摘要

介绍了LIGA加工工艺以及多层掩模技术、复制技术、外形磨削成型技术的现状.给出LIGA技术在微驱动器中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张立彬	浙江工业大学机电工程学院	94	1624	26.0	38.0
2	胥芳	浙江工业大学机电工程学院	67	1166	20.0	33.0
3	陈刚	浙江工业大学机电工程学院	9	39	3.0	6.0