用化学气相沉积(CVD)法制备硫化锌(ZnS)体块材料中晶体缺陷和生长工艺的研究

• 作者: 东艳苹 杨耀源 王和明 范志达 蔡以超 闫泽武
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 化学气相沉积法 硫化锌 缺陷 热等静压 红外透过率
• 年，卷（期）: 2002,（2）
• 页码范围: 111-113
• 页数: 3页
• 分类号: O77
• 字数: 1406字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2002.02.008

摘要

本文报道了用化学气相沉积(CVD)法制备高质量红外光学体块材料硫化锌(ZnS)的制备工艺,研究了晶体缺陷对其光学性能的影响.XRD,XEM及IR表明,采用优化的沉积工艺和热等静压后处理,减少晶体中杂质、微孔、六方结构ZnS及Zn-H键的形成,使生长的CVD ZnS具有高的红外透过率,提高了材料的光学品质.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡以超		4	30	3.0	4.0
2	东艳苹		3	19	2.0	3.0
3	闫泽武		2	18	2.0	2.0
4	王和明		2	18	2.0	2.0
5	杨耀源		2	18	2.0	2.0
6	范志达		1	12	1.0	1.0