电弧离子镀脉冲负偏压电源负载特性的仿真分析

• 作者: 丁振峰 戚栋 林国强 王宁会
• 来源期刊: 电工技术杂志
• 学科: 工学
• 关键词: 电弧离子镀 脉冲负偏压电源 负载特性 仿真
• 年，卷（期）: 2002,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 10-11,23
• 页数: 3页
• 分类号: TN86
• 字数: 2005字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9560.2002.11.004

摘要

通过等离子体物理理论和仿真分析,明确了电弧离子镀的等离子体负载本质是等离子体鞘层引起的容性负载,探讨了电弧离子镀脉冲负偏压电源的设计方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王宁会	大连理工大学电气工程系	76	752	15.0	24.0
2	丁振峰	大连理工大学电气工程系	13	32	4.0	4.0
3	林国强	大连理工大学电气工程系	59	562	13.0	21.0
4	戚栋	大连理工大学电气工程系	27	232	7.0	15.0