印制电路与集成电路

• 来源期刊: 电子科技文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 运动估计 ILLUMINATION 照明系统 均匀性 UNIFORMITY 关键尺寸 场效应晶体管 会议录 PROCEEDINGS 光刻工艺
• 年，卷（期）: 2002,（12）
• 页码范围: 18-19
• 页数: 2页
• 分类号: TN919.81

摘要

【正】 Y2002-63181-953 0224596低功率视频器件的运动估计=Motion estimation forlow power video devices[会,英]/De vleeschouwer,C.& Nilsson,T.//Proceedings of 2001 International Con-ference on Image Processing Vol.2 of 3.—953～956(HE)Y2002-63234-125 0224597180nm 大规模集成电路制造中优化照明系统提高关键尺寸均匀性=Improvement of CD uniformity in 180nmLSI manufacturing by optimizing illumination system