面阵CCD探测的全自动椭圆偏振光谱系统研究

• 作者: 倪卫明 李晶 杨月梅 游海洋 王松有 贾建虎 陈剑科 陈良尧 韩涛
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: CCD探测器 单色仪 光谱仪 椭偏仪 光学常数
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 页码范围: 45-50
• 页数: 6页
• 分类号: TN2
• 字数: 4695字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9014.2003.01.010

摘要

给出了一种椭圆偏振光谱的快速测量方法,并使得实验系统的结构更为紧凑和小型化,减轻了重量. 研究中采用了由面阵型CCD探测器和平面多光栅组成的光谱仪,无需光栅扫描,就能够在很短时间内对光谱进行快速准确的数字凝视式成像,光谱分辨精度优于1.0nm,显著提高了系统工作的可靠性和效率. 系统采取了将CCD光谱仪后置的方式,研究并解决了从物理光学原理、器件设计和加工、系统调试和定标、软件编制以及到光谱测量和数据分析等一系列问题. 实验中对典型贵金属Au的光学常数谱进行了测量,获得了满意的结果.