多孔薄膜中杂质浓度分布的理论分析

• 作者: 彭德应 王世涛
• 来源期刊: 辽宁大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: 杂质 薄膜 浓度分布
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 页码范围: 123-126
• 页数: 4页
• 分类号: O483
• 字数: 1694字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5846.2003.02.010

摘要

论述了杂质渗入到多孔薄膜后,薄膜中的杂质浓度分布的理论解释,给出了对实际工艺的指导性结论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王世涛	华东师范大学物理系	13	24	3.0	3.0
2	彭德应	华东师范大学物理系	2	2	1.0	1.0