酸增殖源及其在化学增幅抗蚀剂体系中的应用

• 作者: 周庆莉 张存林 曹胜利
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 酸增殖 酸增殖源 化学增幅抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2003,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 7-10
• 页数: 4页
• 分类号: TQ314.24
• 字数: 3746字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-5624.2003.01.002

摘要

介绍了酸增殖机理、酸增殖源的种类、典型化合物在化学增幅抗蚀剂体系中的应用及对灵敏度的提高,提出在计算机直接制版版材研究中的应用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹胜利	首都师范大学物理系	31	176	8.0	12.0
2	张存林	首都师范大学物理系	111	1730	24.0	35.0
3	周庆莉	首都师范大学物理系	12	22	3.0	4.0