低激励电压微波MEMS开关的理论分析和仿真

• 作者: 单红 苏伟 谢兴军
• 来源期刊: 信息与电子工程
• 学科: 工学
• 关键词: 自动控制技术 微机械开关 仿真 激励电压 推拉结构
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 281-283
• 页数: 3页
• 分类号: TN61
• 字数: 937字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-2892.2003.04.008

摘要

通过对独特的MEMS微波开关模型的理论分析,并用ConventorWare和ADS软件对其微机械结构和射频性能进行仿真,得出该开关工作在DC-4GHz时,插入损耗<1dB,在2GHz的隔离度>40dB,激励电压<5V.可知这种独特的MEMS微波开关模型利用扭转臂和杠杆的原理来达到比较低的激励电压,并且获得较高的隔离度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏伟	中国工程物理研究院电子工程研究所	92	541	12.0	16.0
2	单红	中国工程物理研究院电子工程研究所	3	8	2.0	2.0
3	谢兴军	中国工程物理研究院电子工程研究所	4	5	2.0	2.0