硅衬底纳米钛酸钡湿敏元件特性分析

• 作者: 万徽 吴英奎 王兢
• 来源期刊: 大连理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 湿敏元件 钛酸钡 硅衬底 特性分析
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 信息工程与管理
• 页码范围: 522-526
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.2
• 字数: 2780字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-8608.2003.04.030

摘要

以硅片为衬底制作了纳米钛酸钡膜湿敏元件. 用硬脂酸盐法合成纳米钛酸钡材料,丝网印刷法将纳米钛酸钡涂在硅衬底上制成电阻式湿敏元件. 测试分析了元件的性能参数. 结果表明,元件具有较高的灵敏度. 元件阻抗和电容值随测试频率及相对湿度而变化,但基本不随测试电压变化. 在1 V、100 Hz条件下,元件阻抗-相对湿度关系曲线的线性最好. 由不同湿度的复阻抗平面特性曲线得到了材料感湿特性等效电路,讨论了材料的感湿机理. 低湿时,材料本身颗粒电阻和电容及吸附的少量水共同起作用;高湿时,主要是吸附的水分子电离和极化起作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王兢	大连理工大学电子与信息工程学院	81	398	9.0	14.0
2	吴英奎	大连理工大学电子与信息工程学院	1	5	1.0	1.0
3	万徽	大连理工大学电子与信息工程学院	2	12	2.0	2.0