白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的研究

• 作者: 孙艳 杨玉孝
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: 表面粗糙度 白光干涉 光纤
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 光电技术
• 页码范围: 150-152
• 页数: 3页
• 分类号: TH741
• 字数: 2241字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2003.02.022

摘要

文中提出了一种白光干涉法测量薄膜表面微观不平度的方法.无需测量干涉条纹,通过对透明薄膜的反射光谱进行分析,可以测出薄膜的厚度.测试膜片上不同点的厚度,可以得到物体表面微观状貌.该方法测量精度高、对薄膜无破坏作用.薄膜厚度测量范围为0.2～小于20μm,无横向测试范围的限制.在对SiO2薄膜的测试中,和椭圆偏振仪的测试结果相对照,纵向测量误差小于2nm.文中介绍的测试系统结构简单,测试精度高,测试结果可靠,具有较强的实用性.文章最后给出了对介质薄膜钛酸铅(PbTiO3)表面的测试研究结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙艳	空军工程大学航空电子工程系	36	242	8.0	13.0
5	杨玉孝	西安交通大学激光红外研究所	13	169	7.0	13.0