外延ZnO压电薄膜的声表面波特性分析

• 作者: 刘江华 张柏顺 梁坤 江娟 章天金
• 来源期刊: 湖北大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 氧化锌薄膜 声表面波 结构特性
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 物理学与电子技术
• 页码范围: 130-132
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.055
• 字数: 1924字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-2375.2003.02.008

摘要

采用RF平面磁控溅射技术在单晶Al2O3衬底上淀积了ZnO薄膜.研究了ZnO薄膜的结构特性及电学性能,XRD结果表明:在Al2O3衬底上沉积的ZnO薄膜是高度c轴取向的.电阻率测试结果表明:在纯氧中高温退火,薄膜的电阻率提高到107Ω*cm量级.对于ZnO/Al2O3结构的SAW器件,随着ZnO薄膜厚度的减小,其机电耦合系数降低,但声表面波速率增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	章天金	湖北大学物理学与电子技术学院	82	321	11.0	14.0
2	张柏顺	湖北大学物理学与电子技术学院	24	152	7.0	11.0
3	刘江华	湖北大学物理学与电子技术学院	9	98	7.0	9.0
4	江娟	湖北大学物理学与电子技术学院	32	130	7.0	10.0
5	梁坤	湖北大学物理学与电子技术学院	17	45	3.0	6.0