X射线多层反射膜

• 作者: 白光
• 来源期刊: 激光与光电子学进展
• 学科: 工学
• 关键词: X射线光学 X射线激光器 投影X射线光刻
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 所属期刊栏目: 强光光学
• 页码范围: 12-15
• 页数: 4页
• 分类号: TN24
• 字数: 2614字
• 语种: 中文

摘要

评述X射线多层反射膜原理、现状和问题.讨论了投影X射线光刻和X射线毛细管放电重复率激光器所用的反射镜.