真空微电子加速度传感器结构的有限元分析

• 作者: 彭述成 李霞 温中泉 温志渝 潘银松
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 真空微电子 加速度传感器 有限元方法 场致发射
• 年，卷（期）: 2003,（7）
• 所属期刊栏目: MEMS惯性器件
• 页码范围: 292-294,301
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 898字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.086

摘要

论述了真空微电子加速度传感器的结构及工作原理,应用有限元方法对加速度传感器进行了静力学和动力学分析,拟合出悬臂梁的长宽厚与质量块最大位移量的关系曲线和谐振频率的关系曲线以及质量块受迫振动的谐响应曲线.这些分析为此类加速度传感器的设计提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘银松	重庆大学光电工程学院微系统实验室	57	365	11.0	17.0
2	温志渝	重庆大学光电工程学院微系统实验室	143	1259	18.0	26.0
3	温中泉	重庆大学光电工程学院微系统实验室	26	365	12.0	18.0
4	李霞	重庆大学光电工程学院微系统实验室	20	142	8.0	11.0
5	彭述成	重庆大学光电工程学院微系统实验室	4	35	3.0	4.0