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等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究
等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究
作者:
万国江
冷永祥
杨萍
陈俊英
黄楠
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
纳米薄膜
机械性能
TiN
等离子体浸没离子注入沉积
摘要:
采用等离子体浸没离子注入沉积(PⅢ-D)在不锈钢基底上合成TiN薄膜.对沉积TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验,扫描电子显微镜(SEM)原位观察表明在较大塑性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现.采用划痕法测得薄膜与基体间有较强的结合力.薄膜的纳米压痕测试显示出很高的纳米硬度和弹性模量值.通过对合成TiN薄膜的TEM结构测试、AFM表面观察、AES成分结果分析,认为该合成薄膜的纳米级晶粒尺寸、致密的表面质量以及成分沿深度的分布是其具有优异的抗塑性变形性能以及高的结合强度的原因.
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文献信息
篇名
等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究
来源期刊
无机材料学报
学科
工学
关键词
纳米薄膜
机械性能
TiN
等离子体浸没离子注入沉积
年,卷(期)
2003,(4)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
904-910
页数
7页
分类号
TQ174|TB43
字数
3529字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1000-324X.2003.04.032
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
黄楠
西南交通大学材料学院生物材料与表面工程研究所
160
1147
19.0
27.0
2
万国江
西南交通大学材料学院生物材料与表面工程研究所
11
87
5.0
9.0
3
冷永祥
西南交通大学材料学院生物材料与表面工程研究所
54
492
13.0
20.0
4
杨萍
西南交通大学材料学院生物材料与表面工程研究所
16
149
7.0
12.0
5
陈俊英
西南交通大学材料学院生物材料与表面工程研究所
37
249
10.0
15.0
传播情况
被引次数趋势
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无机材料学报
主办单位:
中国科学院上海硅酸盐研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-324X
CN:
31-1363/TQ
开本:
16开
出版地:
上海市定西路1295号
邮发代号:
4-504
创刊时间:
1986
语种:
chi
出版文献量(篇)
4760
总下载数(次)
8
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:
National Basic Research Program of China
官方网址:
http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:
农业
国家高技术研究发展计划(863计划)
英文译名:
The National High Technology Research and Development Program of China
官方网址:
http://www.863.org.cn
项目类型:
重点项目
学科类型:
信息技术
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