MEMS开关及其应用

• 作者: 翁寿松
• 来源期刊: 电子元器件应用
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS开关 微电子机械系统 微机械开关 射频微机械开关 应用
• 年，卷（期）: 2003,（8）
• 页码范围: 17-19
• 页数: 3页
• 分类号: TM564

摘要

介绍MEMS开关的分类、特性、制造、可靠性和应用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	翁寿松		2	0	0.0	0.0