低串扰平顶型刻蚀衍射光栅解复用器的设计

• 作者: 何赛灵 宋军 石志敏
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 刻蚀衍射光栅 频谱平坦化 串扰 色散
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 195-199
• 页数: 5页
• 分类号: TN814.6
• 字数: 2749字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.02.015

摘要

介绍了一种低串扰、频谱响应平坦化的刻蚀衍射光栅(EDG)解复用器的机理与设计方法,设计带有预整形输入的优化的多模干涉(MMI)结构.该设计采用了广角束传播方法(BPM)、基耳霍夫衍射理论以及模式传输理论等方法.给出一个优化的预整形渐变波导结构,以获得更陡的输出场边缘,使用MMI结构,获得了平坦的频谱响应,设计结构还获得了相对较低的色散值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	何赛灵	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心	100	1000	18.0	26.0
2	宋军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心	9	34	4.0	5.0
3	石志敏	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室光及电磁波研究中心	5	15	2.0	3.0