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聚酰亚胺纳米杂化薄膜绝缘材料77K下的电击穿性能研究
纳米杂化材料
聚酰亚胺
蒙脱土
聚酰亚胺
云母
氧化硅
低温电气强度
绝缘层材料及结构对薄膜晶体管性能的影响
半导体器件仿真
薄膜晶体管
绝缘层
氮化硅
二氧化铪
叠层结构
非晶ErAlO高k栅介质薄膜的制备及性能研究
Er_2O_3-Al_2O_3
高k栅介质
射频磁控溅射
新型F级功能化复合薄膜的研制
干式变压器
环氧树脂
粘接
复合膜
绝缘材料
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 绝缘膜薄膜化达到极限希望寄托于高k材料
来源期刊 电子设计应用 学科
关键词
年,卷(期) 2004,(9) 所属期刊栏目 日经电子专栏
研究方向 页码范围 63-73
页数 6页 分类号
字数 5162字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 堀切近史 7 3 1.0 1.0
传播情况
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相关学者/机构
期刊影响力
电子设计应用
月刊
1672-139X
11-4916/TN
大16开
北京市
82-839
2002
chi
出版文献量(篇)
3145
总下载数(次)
1
总被引数(次)
7284
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