具有复合埋层的新型SIMON材料的制备

• 作者: 刘忠立 刘相华 张恩霞 易万兵 王曦 董业民 金波 陈猛 陈静
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: SIMON SOI 氮氧共注入
• 年，卷（期）: 2004,（7）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 814-818
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.05
• 字数: 3369字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2004.07.014

摘要

采用氮氧共注入方法制备了新型的SIMON(separation by implanted oxygen and nitrogen)SOI材料.采用不同的制备方法分别制作出样品并进行了结构测试和分析,发现SIMON材料的结构和质量对注入条件和退火工艺非常敏感.并对各种氮氧复合注入技术做了分析和比较,发现氮氧分次注入可以得到更好的结构和性能.